hth官方网址:长光辰谱请求光刻掩膜板及金属膜层结构制备办法专利使圆孔图形尺度与方位精度可达±50μm以内

　　国家知识产权局信息数据显现，长春长光辰谱科技有限公司请求一项名为“光刻掩膜板、金属膜层结构制备办法及金属膜层结构”的专利，公开号CN121721899A，请求日期为2025年11月。

　　专利摘要显现，本发明触及镀膜技术领域，特别触及光刻掩膜板、金属膜层结构制备办法及金属膜层结构，光刻掩模板包含：榜首掩膜板中心方位设置有圆形通孔；第二掩膜板与榜首掩膜板相对设置；其间，榜首掩膜板与第二掩膜板一起构成一包容空间，用于固定曲面基底；榜首掩膜板具有榜首内外表，榜首内外表的曲率半径与曲面基底的榜首外表的曲率半径相适配；第二掩膜板具有第二内外表，第二内外表的曲率半径与曲面基底的第二外表的曲率半径相适配。本发明的长处是，以光刻工艺替代传统的机械刻蚀与掩膜镀膜，从根本上消除了边际晕影与机械差错，使圆孔图形尺度与方位精度可达±50μm以内。结合物理气相堆积与坚膜处理，获得了均匀、细密、附着力强的金属膜层。

　　天眼查资料显现，长春长光辰谱科技有限公司，成立于2019年，坐落长春市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。经过天眼查大数据分析，长春长光辰谱科技有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目20次，产业线条，此外企业还具有行政许可6个。

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