hth官方网址:新宙邦请求铜系金属膜与非晶硅膜同步蚀刻的蚀刻液组合物专利省去惯例制作工艺中后续一步的干刻非晶硅膜过程

　　国家知识产权局信息数据显现，深圳新宙邦科技股份有限公司请求一项名为“一种铜系金属膜与非晶硅膜同步蚀刻的蚀刻液组合物”的专利，公开号CN121718879A，请求日期为2024年9月。

　　专利摘要显现，本发明触及蚀刻液技术领域，详细触及一种铜系金属膜与非晶硅膜同步蚀刻的蚀刻液组合物，包含过氧化氢、氟化物、含氟表面活性剂、酰胺类化合物、含氮杂环类化合物、羟基酸或羰基酸类化合物、醇胺类化合物和水；所述蚀刻液组合物满意：0.1≤M+N≤1，2≤N/M≤5。本发明以过氧化氢、氟化物、含氟表面活性剂、酰胺类化合物、含氮杂环类化合物、羟基酸或许羰基酸类化合物、醇胺类化合物为主要成分，并限制氟化物和含氟表面活性剂的含量联系，经过质料之间的协同效果，使得蚀刻液组合物在惯例运用的寿数的初、中、晚期均可坚持优秀的蚀刻特性，起到操控半导体非晶硅膜蚀刻的效果，省去惯例制作工艺中后续一步的干刻非晶硅膜过程，大幅度的提升了出产制作功率，降造本钱。

　　天眼查资料显现，深圳新宙邦科技股份有限公司，成立于2002年，坐落深圳市，是一家以从事化学质料和化学制品制作业为主的企业。企业注册资本74777.9091万人民币。经过天眼查大数据分析，深圳新宙邦科技股份有限公司共对外出资了29家企业，参加招投标项目29次，产业线条，此外企业还具有行政许可72个。

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